NOCプロセス(Nanoimprint On Circuit wafer Process)

CMOS等回路が形成されたウェハー上へのパターニングを可能とした革新的なプロセスです。

特徴

・アライメント
φ8”全面一括パターニングでのアライメント精度は±3μm
・低収縮型成型プロセス
樹脂やモールドの収縮による寸法変化を制御
・曲面成型
100μm以上の大きな反りのある基板への全面均一成型

表面プラズモンカラーフィルターを応用した世界最小サイズの波長センサー

表面プラズモンとは?

金属表面の自由電子の振動が光と結合して金属表面を伝播する振動波のことをいいます。

IoTに向けて様々な用途展開が可能な画期的な次世代デバイス

apolloはnanoLambda社が開発した超小型波長センサーです。

表面プラズモンフィルターの原理

  • 表面プラズモンを用いて、任意の波長のみ透過する微小な フィルターを作製することができます。

展開可能なアプリケーション

  • カラー識別、キャリブレーション
  • 環境測定、水質検査
  • ヘルスケア
  • 鮮度測定