ナノインプリント、微細加工、ファウンドリ、カスタムモールドのトータルソリューション SCIVAX（サイヴァクス）株式会社
ナノインプリント、微細加工、ファウンドリ、カスタムモールドのトータルソリューション SCIVAX（サイヴァクス）株式会社
ナノインプリントの初期検討において、高価なモールドのコストがネックとなり、 プロジェクトが頓挫するケースが増えております。 当社では初期評価を迅速に進めていただく為、お客様の仕様に合わせた低価格カスタムモールドをご提供しております。
また、 多くのお客様からお問合わせをいただいている大型全面パターンモールド（４インチから１２インチ）もこれまでどおりご提供いたしております。以下のリストに示す既製品に加え、カスタム品の受託製造にも対応いたします。 詳細に関しては、お気軽にお問い合わせください。
最先端の半導体技術を用いた超微細パターンから、機械加工などによるマイクロレンズアレイなどのμmオーダーのパターンなど幅広くご対応いたします。
高アスペクトピラーモールド（MLP230/500）
φ4インチからφ12インチまで対応
高輝度化用モールド（MLP230/MLH230）
φ4インチからφ12インチまで対応
高輝度化用モールド（MLP230/MLH230）
Cross section
| Commodity Code | Dimension of Structure （Spec） | Effective Area | Stamp Dimension | Material | Array |
|---|---|---|---|---|---|
| MALS250/500/500-30×30 | Width:250nm, Height:500nm, Pitch:500nm | □30mm | □40mm | Silicon(Si) | － |
| NALS250/500/500-30X30 | Width:250nm, Height:500nm, Pitch:500nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | － |
| MTLS1/1/2-50×50 | Width:1μm, Height:1μm, Pitch:2μm | □50mm | □50mm | Silicon(Si) | － |
| MTLS1/2/2-50×50 | Width:1μm, Height:2μm, Pitch:2μm | □50mm | □50mm | Silicon(Si) | － |
| MALS5/1/10-30×30 | Width:5μm, Height:1μm, Pitch:10μm | □30mm | □40mm | Silicon(Si) | － |
| NALS5/1/10-30×30 | Width:5μm, Height:1μm, Pitch:10μm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | － |
| NALS500/250/1000-20×20 | Width:500nm, Height:250nm, Pitch:1000nm | □20mm | □30mm | Nickel(Ni) | － |
| Commodity Code | Dimension of Structure | Effective Area | Stamp Dimension | Material | Array |
|---|---|---|---|---|---|
| MAH100/100/400-30X30 | φ100nm, Depth:100nm, Pitch:400nm | □30mm | □40mm | Silicon(Si) | Square |
| MAH250/500/500-30×30 | φ250nm, Depth:500nm, Pitch:500nm | □30mm | □40mm | Silicon(Si) | Hexagonal |
| MLH230/200/460-φ120 | φ230nm, Depth:200nm, Pitch:460nm | φ120mm | φ120mm | Silicon(Si) | Hexagonal |
| MAH300/300/600-30X30 | φ300nm, Depth:300nm, Pitch:600nm | □20mm | □25mm | Silicon(Si) | Hexagonal |
| MAH300/600/600-30X30 | φ300nm, Depth:600nm, Pitch:600nm | □20mm | □25mm | Silicon(Si) | Hexagonal |
| MAH300/600/800-30X30 | φ300nm, Depth:600nm, Pitch:800nm | □20mm | □25mm | Silicon(Si) | Square |
| MTH500/500/1000 | φ500nm, Depth:500nm, Pitch:1000nm | □50mm | □50mm | Silicon(Si) | Hexagonal |
| NAH2000/500/5000-30X30 | φ2000nm, Depth:500nm, Pitch:5000nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Square |
| MTH1.9/2.3/3-50×50 | φ1.9μm, Depth2.3μm, Pitch3.0μm | □50mm | □50mm | Silicon(Si) | Hexagonal |
| Commodity Code | Dimension of Structure | Effective Area | Stamp Dimension | Material | Array |
|---|---|---|---|---|---|
| NAP100/100/400-30X30 | φ100nm, Height:100nm, Pitch:400nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Square |
| MLP230/500/460-φ120 | φ230nm, Height:500nm, Pitch:460nm | φ120mm | φ120mm | Silicon(Si) | Hexagonal |
| NAP230/100/460-30X30 | φ230nm, Height:100nm, Pitch:460nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP230/200/340-30X30 | φ230nmnm, Height:200nm, Pitch:340nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP230/200/460-30X30 | φ230nm, Height:200nm, Pitch:460nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Square |
| MLP230/200/460-φ120 | φ230nm, Height:200nm, Pitch:460nm | φ120mm | φ120mm | Silicon(Si) | Hexagonal |
| NAP230/200/690-30X30 | φ230nmnm, Height:200nm, Pitch:690nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP230/200/690-30X30 | φ230nmnm, Height:200nm, Pitch:690nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Square |
| NAP250/500/500-30×30 | φ250nm, Height:500nm, Pitch:500nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP250/250/1000-20×20 | φ250nm, Height:250nm, Pitch:1000nm | □20mm | □30mm | Nickel(Ni) | Square |
| NAP270/200/530-30X30 | φ270nm, Height:200nm, Pitch:530nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP300/300/600-20×20 | φ300nm, Height:300nm, Pitch:600nm | □20mm | □25mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP300/600/600-30X30 | φ300nm, Height:600nm, Pitch:600nm | □20mm | □25mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP300/600/800-30X30 | φ300nm, Height:600nm, Pitch:800nm | □20mm | □25mm | Nickel(Ni) | Square |
| NAP310/200/620-30X30 | φ310nm, Height:200nm, Pitch:620nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP400/200/600-30X30 | φ400nm, Height:200nm, Pitch:600nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP400/200/600-30X30 | φ400nm, Height:200nm, Pitch:600nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Square |
| NAP400/400/600-30X30 | φ400nm, Height:400nm, Pitch:600nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Square |
| NAP500/250/1000-20×20 | φ500nm, Height:250nm, Pitch:1000nm | □20mm | □30mm | Nickel(Ni) | Square |
| NAP600/400/800-30X30 | φ600nm, Height:400nm, Pitch:800nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP600/400/800-30X30 | φ600nm, Height:400nm, Pitch:800nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Square |
| NAP2000/500/5000-30X30 | φ2000nm, Height:500nm, Pitch:5000nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Square |
| Commodity Code | Dimension of Structure | Effective Area | Stamp Dimension | Material | Array |
|---|---|---|---|---|---|
| NA250/250/500-20×20 (PILLAR、LS) | φ250nm, Height:250nm, Pitch:500nm Width:250 nm, Height:250nm, Pitch:500nm | □20mm | □30mm | Nickel(Ni) | Square ー |
お客様のご要望に応じ、評価用から量産用まで様々なカスタムモールドをご提供いたします。当社では、パターンサイズに応じ、7種の異なる加工プロセスを用いてモールドを作製しております。
一つのモールドにお客様のご要望のパターンを2種類以上形成することが可能です。
モールド材料： ニッケル
パターン： ピラー〈右写真〉、L&S〈左写真〉
L&S：幅250nm、高さ250nm、ピッチ500nm
ピラー：φ250nm、高さ250nm、ピッチ500nm
お客様の仕様に合わせて作成します（材質： Si、Ni）
パターン： L&S、Pillar、Hole 他
パターンサイズ： 150nm～
パターン領域： □10mm～□30mm
材質： Si、Ni
Ni電鋳モールド複製受託をいたします。
Ni電鋳モールド
（200nmピラー、高さ500nm）
φ８インチNi電鋳モールド
（φ200nmピラーからの複製モールド）
