ナノインプリントの初期検討において、高価なモールドのコストがネックとなり、 プロジェクトが頓挫するケースが増えております。 当社では初期評価を迅速に進めていただく為、お客様の仕様に合わせた低価格カスタムモールドをご提供しております。

また、 多くのお客様からお問tel:044-599-5051合わせをいただいている大型全面パターンモールド(4インチから12インチ)もこれまでどおりご提供いたしております。以下のリストに示す既製品に加え、カスタム品の受託製造にも対応いたします。 詳細に関しては、お気軽にお問い合わせください。

規格モールドリスト

L & S

Commodity CodeDimension of Structure (Spec)Effective Area Stamp DimensionMaterialArray
MALS250/500/500-30×30 Width:250nm, Height:500nm, Pitch:500nm□30mm□40mmSilicon(Si)
NALS250/500/500-30X30Width:250nm, Height:500nm, Pitch:500nm □30mm□40mmNickel(Ni)
MTLS1/1/2-50×50Width:1μm, Height:1μm, Pitch:2μm□50mm□50mmSilicon(Si)
MTLS1/2/2-50×50Width:1μm, Height:2μm, Pitch:2μm□50mm□50mmSilicon(Si)
MALS5/1/10-30×30Width:5μm, Height:1μm, Pitch:10μm□30mm□40mmSilicon(Si)
NALS5/1/10-30×30Width:5μm, Height:1μm, Pitch:10μm□30mm□40mmNickel(Ni)
NALS500/250/1000-20×20Width:500nm, Height:250nm, Pitch:1000nm □20mm□30mmNickel(Ni)

Hole

Commodity CodeDimension of Structure Effective AreaStamp Dimension MaterialArray
MAH100/100/400-30X30φ100nm, Depth:100nm, Pitch:400nm□30mm□40mmSilicon(Si)Square
MAH250/500/500-30×30φ250nm, Depth:500nm, Pitch:500nm□30mm□40mmSilicon(Si)Hexagonal
MLH230/200/460-φ120φ230nm, Depth:200nm, Pitch:460nmφ120mmφ120mmSilicon(Si)Hexagonal
MAH300/300/600-30X30φ300nm, Depth:300nm, Pitch:600nm □20mm□25mmSilicon(Si)Hexagonal
MAH300/600/600-30X30φ300nm, Depth:600nm, Pitch:600nm□20mm□25mmSilicon(Si)Hexagonal
MAH300/600/800-30X30φ300nm, Depth:600nm, Pitch:800nm □20mm□25mmSilicon(Si)Square
MTH500/500/1000φ500nm, Depth:500nm, Pitch:1000nm□50mm□50mmSilicon(Si)Hexagonal
NAH2000/500/5000-30X30 φ2000nm, Depth:500nm, Pitch:5000nm □30mm□40mmNickel(Ni)Square
MTH1.9/2.3/3-50×50φ1.9μm, Depth2.3μm, Pitch3.0μm□50mm□50mmSilicon(Si)Hexagonal

Pillar

Commodity Code Dimension of Structure Effective Area Stamp Dimension MaterialArray
NAP100/100/400-30X30φ100nm, Height:100nm, Pitch:400nm□30mm□40mmNickel(Ni)Square
MLP230/500/460-φ120φ230nm, Height:500nm, Pitch:460nmφ120mmφ120mmSilicon(Si)Hexagonal
NAP230/100/460-30X30φ230nm, Height:100nm, Pitch:460nm□30mm□40mmNickel(Ni)Hexagonal
NAP230/200/340-30X30φ230nmnm, Height:200nm, Pitch:340nm □30mm□40mmNickel(Ni)Hexagonal
NAP230/200/460-30X30φ230nm, Height:200nm, Pitch:460nm□30mm□40mmNickel(Ni)Square
MLP230/200/460-φ120φ230nm, Height:200nm, Pitch:460nm φ120mmφ120mmSilicon(Si)Hexagonal
NAP230/200/690-30X30φ230nmnm, Height:200nm, Pitch:690nm □30mm□40mmNickel(Ni)Hexagonal
NAP230/200/690-30X30φ230nmnm, Height:200nm, Pitch:690nm□30mm□40mmNickel(Ni)Square
NAP250/500/500-30×30φ250nm, Height:500nm, Pitch:500nm□30mm□40mmNickel(Ni)Hexagonal
NAP250/250/1000-20×20φ250nm, Height:250nm, Pitch:1000nm□20mm□30mmNickel(Ni)Square
NAP270/200/530-30X30φ270nm, Height:200nm, Pitch:530nm□30mm□40mmNickel(Ni)Hexagonal
NAP300/300/600-20×20φ300nm, Height:300nm, Pitch:600nm□20mm□25mmNickel(Ni)Hexagonal
NAP300/600/600-30X30φ300nm, Height:600nm, Pitch:600nm□20mm□25mmNickel(Ni)Hexagonal
NAP300/600/800-30X30 φ300nm, Height:600nm, Pitch:800nm□20mm□25mmNickel(Ni)Square
NAP310/200/620-30X30 φ310nm, Height:200nm, Pitch:620nm □30mm□40mmNickel(Ni)Hexagonal
NAP400/200/600-30X30φ400nm, Height:200nm, Pitch:600nm□30mm□40mmNickel(Ni)Hexagonal
NAP400/200/600-30X30φ400nm, Height:200nm, Pitch:600nm□30mm□40mmNickel(Ni)Square
NAP400/400/600-30X30 φ400nm, Height:400nm, Pitch:600nm□30mm□40mmNickel(Ni)Square
NAP500/250/1000-20×20φ500nm, Height:250nm, Pitch:1000nm□20mm□30mmNickel(Ni)Square
NAP600/400/800-30X30φ600nm, Height:400nm, Pitch:800nm□30mm□40mmNickel(Ni)Hexagonal
NAP600/400/800-30X30 φ600nm, Height:400nm, Pitch:800nm□30mm□40mmNickel(Ni)Square
NAP2000/500/5000-30X30φ2000nm, Height:500nm, Pitch:5000nm□30mm□40mmNickel(Ni)Square

Plural

Commodity CodeDimension of Structure Effective AreaStamp Dimension MaterialArray
NA250/250/500-20×20
(PILLAR、LS)
φ250nm, Height:250nm, Pitch:500nm
Width:250 nm, Height:250nm, Pitch:500nm
□20mm□30mmNickel(Ni) Square

カスタムモールド事例

お客様のご要望に応じ、評価用から量産用まで様々なカスタムモールドをご提供いたします。当社では、パターンサイズに応じ、7種の異なる加工プロセスを用いてモールドを作製しております。

複合カスタムモールド

一つのモールドにお客様のご要望のパターンを2種類以上形成することが可能です。

モールド材料: ニッケル
パターン: ピラー〈右写真〉、L&S〈左写真〉
L&S:幅250nm、高さ250nm、ピッチ500nm
ピラー:φ250nm、高さ250nm、ピッチ500nm

低価格インプリント用モールド

お客様の仕様に合わせて作成します(材質:Si、Ni)

複合カスタムモールド

パターン: L&S、Pillar、Hole 他
パターンサイズ: 150nm~
パターン領域: □10mm~□30mm
材質: Si、Ni

ライン&スペース
ライン&スペース

大面積カスタムモールド

Ni電鋳モールド複製受託をいたします。

Ni電鋳モールド (200nmピラー、高さ500nm)

Ni電鋳モールド
(200nmピラー、高さ500nm)

φ8インチNi電鋳モールド
(φ200nmピラーからの複製モールド)

シリコンモールドからNi電鋳レプリカモールドを作製することができます。

シリコンモールド(200nmピラー、高さ:500nm)
シリコンモールド(ハニカム 一辺1μm、壁厚240nm)
シリコンモールド(ハニカム 一辺1μm、壁厚240nm)