ナノインプリント、微細加工、ファウンドリ、カスタムモールドのトータルソリューション SCIVAX(サイヴァクス)株式会社
サービス案内 / 検査・測定
ナノインプリントをベースとした微細加工の量産に於いて外観検査は非常に重要な要素技術です。当社は最先端の高速外観検査装置(INSPECTRA)を始め様々な検査技術をベースに、お客様の試作~量産を確実にサポートします。
主な用途:ウェハーおよびフィルムの表面の外観を自動で検査
マクロ光学系でモールド及び転写フィルム等の評価が可能です。 ナノインプリントモールドや転写フィルムのパターンを マクロ視野で撮像することにより短時間でパターン欠陥や、 離型剤塗布の不均一性を評価・検査することができます。
●モールドの評価・解析●さまざまなパターン形状及びモールド材質に対応(Ni、石英、樹脂モールド等)●離型剤の劣化・剥がれのモニタリング●転写パターンの均一性評価・解析●独自技術による高速・高感度撮像を実現
●FE-SEM●AFM●共焦点顕微鏡●CNC3次元測定器●膜厚測定器●反射率測定器