ナノインプリント装置│SCIVAX株式会社

●量産に不可欠な高い成型再現性を実現
●小面積から大面積まで一括転写可能
●熱式、UV式両用
●多機能( 「自動離型機構」「真空操作」「雰囲気制御」「高温インプリント」等)
●操作性(シンプルで人の動きに配慮した機能的デザイン)
●クリーンルーム対応（駆動部の密閉化)

ナノインプリント導入機として最適な廉価版UV式ナノインプリント装置です。
高性能LED UV光源、大面積ワーク、真空機構、他
様々な基礎検討に要求される機能を備えております。

Ｒ＆Ｄからパイロット生産まで対応可能なモデルです。

形式	熱式・UV式ナノインプリント装置
転写方式	一括転写
被転写材料	UV硬化樹脂、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂
最高使用温度	250℃、650℃（オプション）
最大荷重力	50kN
ステージ速度	最大15mm/sec　最小50nm/sec 任意設定可能、バックラッシュキャンセル機構
最大ワークサイズ	φ150mm
標準ワーク保持	真空吸着
UV機能	波長　365nm/385nm 有効照射面積□100mm 最大加圧力2MPa 最大操作温度　100℃
真空機構	真空チャンバー付属
真空ポンプ	標準真空到達圧力/300pa
雰囲気制御	真空チャンバー内を任意ガス雰囲気とする
操作	タッチパネル　パソコン操作/データロガー　 20ステップの任意操作回路による自動運転
外形寸法・重量	W900xH1,800xD1,300（mm）1,250kg

Ｒ＆Ｄからパイロット生産まで対応可能なモデルです。
(φ８インチまでインプリント可能です)

形式	熱式、UV式ナノインプリント装置
転写方式	一括転写
被転写材料	UV硬化樹脂、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂
最高使用温度	350℃
最大荷重力	100kN
ステージ速度	最大15mm/sec　最小50nm/sec 任意設定可能、バックラッシュキャンセル機構
最大ワークサイズ	φ200mm
標準ワーク保持	真空吸着
UV機能	波波長　365nm/385nm 有効照射面積φ200m 最大加圧力2MPa 最大操作温度　100℃
真空機構	真空チャンバー付属
真空ポンプ	標準真空到達圧力/300Pa
雰囲気制御	真空チャンバー内を任意ガス雰囲気とする
操作	タッチパネル　パソコン操作/データロガー 20ステップの任意操作回路による自動運転
外形寸法・重量	W900xH1,990xD1,650（mm）　1,500kg

マクロ光学系でモールド及び転写フィルム等の評価が可能です。
ナノインプリントモールドや転写フィルムのパターンをマクロ視野で撮像することにより短時間でパターン欠陥や、離型剤塗布の不均一性を評価・検査することができます。

●モールドの評価・解析
●さまざまなパターン形状及びモールド材質に対応　(Ni、石英、樹脂モールド等)
●離型剤の劣化・剥がれのモニタリング
●転写パターンの均一性評価・解析
●独自技術による高速・高感度撮像を実現

形式	マクロ欠陥検査装置
搭載可能ワークサイズ	300mmx300mm　0.1～10mm厚 0.1mm以下の厚みの場合はご相談下さい。
撮像センサー	2,048画素　CCDラインセンサカメラ（B/W）

OptoScan-700は多くのお問い合わせを頂いているナノパターン検査装置です。
当社ではOptoScan-700を用いたデモンストレーションを実施しております。

実施内容

①標準デモ：当社サンプルを用いた標準デモンストレーション／半日程度
②個別評価試験：お客様持込サンプルを用いた評価試験／1日～2日
※②に関しては、事前のお打ち合せ及び事前検討が必要になります。
詳細は以下までお問い合わせください。

実施場所

SCIVAX株式会社 NANOBIC（新川崎）内

弊社の最先端量産装置によりお客様のニーズに合わせた様々な量産受託をお受けいたします。