MENU

ナノインプリント装置​

ナノインプリント装置

●量産に不可欠な高い成型再現性を実現
●小面積から大面積まで一括転写可能
●熱式、UV式両用
●多機能(「真空操作」「雰囲気制御」「高温インプリント」等)
●操作性(シンプルで人の動きに配慮した機能的デザイン)
●クリーンルーム対応 (駆動部の密閉化)

●自動離型装置については別途お問い合わせください

RubiQ Type RD-100

企業のR&D部門や大学・研究機関からは、基礎研究や多くの材料を用いて加工実験を行う事を目的とした、ナノインプリント装置購入のニーズが顕在化しています。SCIVAXはナノインプリント装置メーカの強みと1,000件以上の受託実績で培ったプロセスノウハウの強みを活かして、多様的プロセスに対応できるこれまでにない画期的なコンセプトの装置を開発致しました。

 

概略と特徴

・以下の方式の組合せで計14通りの装置構成を選択可能

              硬化方式:UV/熱/両用

              成型方式:ステージ方式/均圧方式(特許取得済み)/両用

              駆動方式:サーボモーター/エアシリンダ

・多彩なオプション機能

              自動運転、モールドハンドリング機構、高機能フィルター、除電機構、UV照度UP、高真空対応

 

上記方式と機能を装置導入後でも変更、追加可能

方式熱ナノインプリント/UVナノインプリント
最大ワークサイズφ100㎜
最大荷重20kN
熱仕様加熱温度:250℃
加熱/冷却方式:ヒーター/水冷
UV仕様波長:365nm
照度:100㎜W/㎠~
真空機構あり
外形W500×D700×H1700(㎜)
重量260㎏~

X300

R&Dからパイロット生産まで対応可能なモデルです。

形式熱式・UV式ナノインプリント装置
転写方式一括転写
被転写材料UV硬化樹脂、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂
最高使用温度250℃
最大荷重力50kN
ステージ速度最大15mm/sec 最小50nm/sec 任意設定可能、バックラッシュキャンセル機構
最大ワークサイズφ150mm
標準ワーク保持真空吸着
UV機能波長 365nm/385nm 有効照射面積□100mm
最大加圧力2MPa
最大操作温度 100℃
真空機構真空チャンバー付属
真空ポンプ標準真空到達圧力/300pa
雰囲気制御真空チャンバー内を任意ガス雰囲気とする
操作タッチパネル
外形寸法・重量W900xH1,800xD1,300(mm)1,250kg
オプション高温ステージ(650℃)
自動運転
熱式・UV式ナノインプリント装置 x300

X500

R&Dからパイロット生産まで対応可能なモデルです。
(φ8インチまでインプリント可能です)

形式熱式、UV式ナノインプリント装置
転写方式一括転写
被転写材料UV硬化樹脂、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂
最高使用温度250℃
最大荷重力100kN
ステージ速度最大15mm/sec 最小50nm/sec
任意設定可能、バックラッシュキャンセル機構
最大ワークサイズφ200mm
標準ワーク保持真空吸着
UV機能波波長 365nm/385nm
有効照射面積φ200m
最大加圧力2MPa
最大操作温度 100℃
真空機構真空チャンバー付属
真空ポンプ
標準真空到達圧力/300Pa
雰囲気制御真空チャンバー内を任意ガス雰囲気とする
操作タッチパネル
外形寸法・重量W900xH1,990xD1,650(mm) 1,500kg
オプション高温ステージ(650℃)
自動運転
熱式、UV式ナノインプリント装置 x500

OptoScan-700(マクロ検査装置)

マクロ光学系でモールド及び転写フィルム等の評価が可能です。
ナノインプリントモールドや転写フィルムのパターンをマクロ視野で撮像することにより短時間でパターン欠陥や、離型剤塗布の不均一性を評価・検査することができます。

●モールドの評価・解析
●さまざまなパターン形状及びモールド材質に対応(Ni、石英、樹脂モールド等)
●離型剤の劣化・剥がれのモニタリング
●転写パターンの均一性評価・解析
●独自技術による高速・高感度撮像を実現

形式マクロ欠陥検査装置
搭載可能ワークサイズ300mmx300mm 0.1~10mm厚
0.1mm以下の厚みの場合はご相談下さい。
撮像センサー2,048画素 CCDラインセンサカメラ(B/W)
マクロ欠陥検査装置 OptoScan-700(マクロ検査装置)
OptoScan-700によるデモンストレーション

OptoScan-700は多くのお問い合わせを頂いているナノパターン検査装置です。
当社ではOptoScan-700を用いたデモンストレーションを実施しております。

実施内容

①標準デモ:当社サンプルを用いた標準デモンストレーション/半日程度
②個別評価試験:お客様持込サンプルを用いた評価試験/1日~2日
※②に関しては、事前のお打ち合せ及び事前検討が必要になります。
詳細は以下までお問い合わせください。

実施場所

SCIVAX株式会社 NANOBIC(新川崎)内

欠陥検査事例

量産受託製造用装置

お客様の製品プロセスに合わせて

最適化された量産装置をご提供致します。

特徴Spec備考
大面積成型最大G5サイズ(1,100×1,300mm) ガラス基板成型時
多数個成型対応可能各種ウエハサイズに対応
離型機構対応可能条件により最適な離型方法を選択
アライメント対応可能
PAGE TOP