ナノインプリント、微細加工、ファウンドリ、カスタムモールドのトータルソリューション SCIVAX(サイヴァクス)株式会社
●量産に不可欠な高い成型再現性を実現●小面積から大面積まで一括転写可能●熱式、UV式両用●多機能( 「自動離型機構」「真空操作」「雰囲気制御」「高温インプリント」等)●操作性(シンプルで人の動きに配慮した機能的デザイン)●クリーンルーム対応 (駆動部の密閉化)
ナノインプリント導入機として最適な廉価版UV式ナノインプリント装置です。高性能LED UV光源、大面積ワーク、真空機構、他様々な基礎検討に要求される機能を備えております。
R&Dからパイロット生産まで対応可能なモデルです。
R&Dからパイロット生産まで対応可能なモデルです。(φ8インチまでインプリント可能です)
マクロ光学系でモールド及び転写フィルム等の評価が可能です。ナノインプリントモールドや転写フィルムのパターンをマクロ視野で撮像することにより短時間でパターン欠陥や、離型剤塗布の不均一性を評価・検査することができます。
●モールドの評価・解析●さまざまなパターン形状及びモールド材質に対応 (Ni、石英、樹脂モールド等)●離型剤の劣化・剥がれのモニタリング●転写パターンの均一性評価・解析●独自技術による高速・高感度撮像を実現
OptoScan-700は多くのお問い合わせを頂いているナノパターン検査装置です。当社ではOptoScan-700を用いたデモンストレーションを実施しております。
実施内容
①標準デモ:当社サンプルを用いた標準デモンストレーション/半日程度②個別評価試験:お客様持込サンプルを用いた評価試験/1日~2日※②に関しては、事前のお打ち合せ及び事前検討が必要になります。詳細は以下までお問い合わせください。
実施場所
SCIVAX株式会社 NANOBIC(新川崎)内
弊社の最先端量産装置によりお客様のニーズに合わせた様々な量産受託をお受けいたします。