FALS1000/1000/2000-30×30 | L&S | 幅1μm、高さ1μm、ピッチ2μm | □30mm | □40mm |
FTLS1000/2000/2000-100×100 | L&S | 幅1μm、高さ2μm、ピッチ2μm | □100mm | □120mm |
FCLS/200-4×4 | L&S
(線幅4種混合) | 幅 75nm,100nm,150nm,200nm、高さ200nm ピッチ 150nm,200nm,300nm,400nm | □4mm x 4 | □40mm |
FLH230/500-120 | ホール | φ230nm、深さ500nm、ピッチ460nm 正三角形格子配列 | φ120mm | □130mm |
FLH230/200-120 | ホール | φ230nm、深さ200nm、ピッチ460nm 正三角形格子配列 | φ120mm | □130mm |
FLP230/200-120 | ピラー | φ230nm、高さ200nm、ピッチ460nm 正三角形格子配列 | φ120mm | □130mm |
FTP500/500-50×50 | ピラー | φ500nm、高さ500nm、ピッチ1000nm 正三角形格子配列 | □50mm | □70mm |
FMES250/300-100×100 | モスアイ | モスアイ、片面成型 | □100mm | □120mm |
FRA50/25-10×10 | レンズアレー | φ50μm、高さ25μm半球、ピッチ100μm | □10mm | □70mm |