ナノインプリント、微細加工、ファウンドリ、カスタムモールドのトータルソリューション SCIVAX（サイヴァクス）株式会社
ナノインプリント、微細加工、ファウンドリ、カスタムモールドのトータルソリューション SCIVAX（サイヴァクス）株式会社
ナノインプリント成型のみならず、射出成型他の様々な微細成型に用いるモールドをご提供いたします。
R&D用の小型モールドから量産用の大型モールドまで目的に合わせたサービスをご提供いたします。
最先端の半導体プロセスを用いて作製したＳｉ基板モールドを低価格でご提供いたします。
金型サイズが□10mmからφ300mmまでのラインナップの中からお選びいただけます。
| Commodity Code | Dimension of Structure | Effective Area | Stamp Dimension | Material | Array |
|---|---|---|---|---|---|
| MALS250/500/500-30×30 | Width:250nm, Height:500nm, Pitch:500nm | □30mm | □40mm | Silicon(Si) | － |
| NALS250/500/500-30X30 | Width:250nm, Height:500nm, Pitch:500nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | － |
| MTLS1/1/2-50×50 | Width:1μm, Height:1μm, Pitch:2μm | □50mm | □50mm | Silicon(Si) | － |
| MTLS1/2/2-50×50 | Width:1μm, Height:2μm, Pitch:2μm | □50mm | □50mm | Silicon(Si) | － |
| MALS5/1/10-30×30 | Width:5μm, Height:1μm, Pitch:10μm | □30mm | □40mm | Silicon(Si) | － |
| NALS5/1/10-30×30 | Width:5μm, Height:1μm, Pitch:10μm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | － |
| NALS500/250/1000-20×20 | Width:500nm, Height:250nm, Pitch:1000nm | □20mm | □30mm | Nickel(Ni) | － |
φ230nm
Height200nm
Pitch460nm
| Commodity Code | Dimension of Structure | Effective Area | Stamp Dimension | Material | Array |
|---|---|---|---|---|---|
| NAP100/100/400-30X30 | φ100nm, Height:100nm, Pitch:400nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Square |
| MLP230/500/460-φ120 | φ230nm, Height:500nm, Pitch:460nm | φ120mm | φ120mm | Silicon(Si) | Hexagonal |
| NAP230/100/460-30X30 | φ230nm, Height:100nm, Pitch:460nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP230/200/340-30X30 | φ230nmnm, Height:200nm, Pitch:340nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP230/200/460-30X30 | φ230nm, Height:200nm, Pitch:460nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Square |
| MLP230/200/460-φ120 | φ230nm, Height:200nm, Pitch:460nm | φ120mm | φ120mm | Silicon(Si) | Hexagonal |
| NAP230/200/690-30X30 | φ230nmnm, Height:200nm, Pitch:690nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP230/200/690-30X30 | φ230nmnm, Height:200nm, Pitch:690nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Square |
| NAP250/500/500-30×30 | φ250nm, Height:500nm, Pitch:500nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP250/250/1000-20×20 | φ250nm, Height:250nm, Pitch:1000nm | □20mm | □30mm | Nickel(Ni) | Square |
| NAP270/200/530-30X30 | φ270nm, Height:200nm, Pitch:530nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP300/300/600-20×20 | φ300nm, Height:300nm, Pitch:600nm | □20mm | □25mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP300/600/600-30X30 | φ300nm, Height:600nm, Pitch:600nm | □20mm | □25mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP300/600/800-30X30 | φ300nm, Height:600nm, Pitch:800nm | □20mm | □25mm | Nickel(Ni) | Square |
| NAP310/200/620-30X30 | φ310nm, Height:200nm, Pitch:620nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP400/200/600-30X30 | φ400nm, Height:200nm, Pitch:600nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP400/200/600-30X30 | φ400nm, Height:200nm, Pitch:600nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Square |
| NAP400/400/600-30X30 | φ400nm, Height:400nm, Pitch:600nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Square |
| NAP500/250/1000-20×20 | φ500nm, Height:250nm, Pitch:1000nm | □20mm | □30mm | Nickel(Ni) | Square |
| NAP600/400/800-30X30 | φ600nm, Height:400nm, Pitch:800nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Hexagonal |
| NAP600/400/800-30X30 | φ600nm, Height:400nm, Pitch:800nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Square |
| NAP2000/500/5000-30X30 | φ2000nm, Height:500nm, Pitch:5000nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Square |
φ500nm
Depth500nm
Pitch4000nm
| Commodity Code | Dimension of Structure | Effective Area | Stamp Dimension | Material | Array |
|---|---|---|---|---|---|
| MAH100/100/400-30X30 | φ100nm, Depth:100nm, Pitch:400nm | □30mm | □40mm | Silicon(Si) | Square |
| MAH250/500/500-30×30 | φ250nm, Depth:500nm, Pitch:500nm | □30mm | □40mm | Silicon(Si) | Hexagonal |
| MLH230/200/460-φ120 | φ230nm, Depth:200nm, Pitch:460nm | φ120mm | φ120mm | Silicon(Si) | Hexagonal |
| MAH300/300/600-30X30 | φ300nm, Depth:300nm, Pitch:600nm | □20mm | □25mm | Silicon(Si) | Hexagonal |
| MAH300/600/600-30X30 | φ300nm, Depth:600nm, Pitch:600nm | □20mm | □25mm | Silicon(Si) | Hexagonal |
| MAH300/600/800-30X30 | φ300nm, Depth:600nm, Pitch:800nm □ | □20mm | □25mm | Silicon(Si) | Square |
| MTH500/500/1000 | φ500nm, Depth:500nm, Pitch:1000nm | □50mm | □50mm | Silicon(Si) | Hexagonal |
| NAH2000/500/5000-30X30 | φ2000nm, Depth:500nm, Pitch:5000nm | □30mm | □40mm | Nickel(Ni) | Square |
| MTH1.9/2.3/3-50×50 | φ1.9μm, Depth3.3μm, Pitch3.0μm | □50mm | □50mm | Silicon(Si) | Hexagonal |
お客様の要求にあわせて製作する金型をご提案しております。
材質はSi、Ni（NiP）、SUS、石英での製作が可能です。7種の様々な手法を用いる事により、微細加工で必要とされる全てのサイズを網羅しております。
最新の半導体技術でありますEB描画、レーザー描画、高速描画をはじめ射出成型技術である機械加工での金型作製も行っております。
| パターン | ●ピラー●ホール●L&S ●ハニカム●スクエア●レンズアイ●ブレーズド●再帰反射 |
| 加工サイズ | 数十nm ～ 数μm |
| 加工エリア | □数mm ～ φ12インチ |
| 材質 | ●Si ●SUS ●Ni ●石英 |
| φ | 30nm～ |
| 高さ | 30nm～ |
| ピッチ | 60nm～ |
| パターンエリア | □数mm～φ300mm |
| φ | 30nm～ |
| 高さ | 30nm～ |
| ピッチ | 60nm～ |
| パターンエリア | □数mm～φ300mm |
| 幅 | 50nm～ |
| 高さ | 50nm～ |
| ピッチ | 100nm～ |
| パターンエリア | □数mm～φ300mm |
| 2種・4種混載パターン（ピラー・ホール・L&S等）高さは同一となります。 | |
| φ・幅 | 100nm～ |
| 高さ | 100nm～ |
| ピッチ | 200nm～ |
| パターンエリア | □10mm～50mm |
量産案件に対応した大面積モールドをご提供いたします。
最先端の半導体技術を用いたφ12インチのモールドパターン境界を高精度な繋ぎで製作致します。高精度なパターンを12インチ全面に作製する事が可能です。
