多彩なデバイスの量産化に対応できる様々な設備環境

当社では、ナノインプリントのオートメーションラインを中心に、多彩なデバイスの量産化に対応できる様々な設備(エッチング、検査、他)を整えております。

設備概要:

  • 塗布装置:インクジェット(~G5.0)、スピンコーター(~□12″)、スリットコーター(~G2.0)、ディスペンサー
  • ナノインプリント装置:8台(φ2″~G5.0)
  • エッチャー:2台(~φ12″)
  • 各種検査装置:10台(インスペクトラ、オプトスキャン、他)

これらの設備を駆使することで、さまざまなデバイスの量産化を実現しています。

例えば、富山工場では、φ8″、φ12″ウェハ用のナノインプリント自動化ラインを設置。バイオ及び光学素子の量産を行っております。

また、当社パートナーである信越エンジニアリングとの連携により、同社磯部工場にG5.0のナノインプリントデモンストレーションラインを整備。大面積ナノインプリント試作に対応しております。

ナノインプリント技術を用いた量産化にお困りの際は、お気軽にご相談ください。