様々なデバイス製造に対応できる設備環境

当社では、ナノインプリントのオートメーションラインを中心に、多彩なデバイスの量産化に対応できる様々な設備（エッチング、検査、他）を整えております。

設備概要：

• 塗布装置：スピンコーター（～□12″）、スリットコーター（～G2.0）、ディスペンサー、インクジェット、バーコータ
• ナノインプリント装置：10台（φ2”～φ12”）
• エッチャー：2台（～φ12″）
• 各種検査装置：SEM、AFM、電子顕微鏡（インスペクトラ、オプトスキャン、他）

これらの設備を駆使することで、さまざまなデバイスの量産化を実現しています。