量産受託

量産受託とは?
高度にクリーン管理された最先端製造設備により、
最高品質のナノインプリント量産受託サービスをご提供いたします。

量産受託工場

構造・運用の両面から、パーティクルを極限まで低くなるよう設計されております。

量産工場外観

量産工場外観

量産工場内観1

量産工場内観2

量産工場内観2

全面HEPA付きFFU

グレーチング床

垂直一方向流方式によるパーティクル滞留最小化(天井HEPA付きFFU+グレーチング床)。
室間差圧制御によるCRへの気中パーティクル流入阻止
室圧:CR > 前室 > 一般室内

パーティクル対策
1.室間差圧制御によるCRへの気中パーティクル流入阻止
2.入室時、インナーウェア+クリーンスーツ着用による人起因パーティクル持込最小限化
3.垂直一方向流方式+グレーチング床方式によるパーティクル滞留最小化
4.高清浄度維持に向けた換気回数の最大化

クリーンルームの仕様

項目性能
風速0.4m/sec
CR換気回数247回/h
フィルター効率>99.9995%
温度制御範囲23.5±1
室度制御範囲RH40±10%
浮遊塵埃濃度(空気清浄度)
ISO基準14644(JIS準拠)ISO5
米国基準209Eクラス100相当

試作受託拠点

光学シミュレーションから量産立上げまでは新川崎R&Dセンターにて対応いたします。
交通アクセスも良く会議スペースもありますので、いつでもお打合せが可能です。お気軽にお問い合わせください。

ナノ・マイクロ産学官共同研究施設

ナノ・マイクロ産学官共同研究施設
NANOBIC

クリーンルーム全体

クリーンルーム全体

ご提供内容ナノインプリント試作
光学シミュレーション
エッチング受託
被成型物Si、化合物半導体、樹脂フィルム、樹脂基板、
金属、各種成膜基板
サイズ数cm□~□500mm
インプリント法式熱式・UV式
所在地〒212-0032 神奈川県川崎市幸区新川崎7番7号 NANOBIC