ナノインプリント、微細加工、ファウンドリ、カスタムモールドのトータルソリューション SCIVAX(サイヴァクス)株式会社
ナノインプリントレジストでのエッチングでお困りはありませんか?ナノインプリントレジストに関わるドライエッチング上の様々な課題を解決します。
基板サイズ、被エッチング膜種・様々なパターンサイズに対応します。ナノインプリントによるレジストマスク形成からエッチングの最適化までを一括で受託する事ができます。
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エッチングレート制御により残膜エッチングの課題を解決します。
エッチング選択比の制御によりレジスト不足の課題を解決します。
様々な形状制御が可能です。
エッチング開発のコンサルティングも行います。お気軽にご相談下さい。
ナノインプリント加工基板のエッチングに限ります。