ナノインプリント、微細加工、ファウンドリ、カスタムモールドのトータルソリューション SCIVAX（サイヴァクス）株式会社
ナノインプリント、微細加工、ファウンドリ、カスタムモールドのトータルソリューション SCIVAX（サイヴァクス）株式会社
量産受託とは？
高度にクリーン管理された最先端製造設備により、
最高品質のナノインプリント量産受託サービスをご提供いたします。
構造・運用の両面から、パーティクルを極限まで低くなるよう設計されております。
量産工場外観
全面HEPA付きFFU
グレーチング床
垂直一方向流方式によるパーティクル滞留最小化（天井HEPA付きFFU+グレーチング床）。
室間差圧制御によるCRへの気中パーティクル流入阻止
室圧：CR ＞ 前室 ＞ 一般室内
1.室間差圧制御によるCRへの気中パーティクル流入阻止
2.入室時、インナーウェア＋クリーンスーツ着用による人起因パーティクル持込最小限化
3.垂直一方向流方式＋グレーチング床方式によるパーティクル滞留最小化
4.高清浄度維持に向けた換気回数の最大化
| 項目 | 性能 | |
| 風速 | 0.4 | m/sec |
| CR換気回数 | 247 | 回/h |
| フィルター効率 | >99.9995 | % |
| 温度制御範囲 | 23.5±1 | ℃ |
| 室度制御範囲 | RH40±10 | % |
| 浮遊塵埃濃度（空気清浄度） | ||
| ISO基準14644（JIS準拠） | ISO5 | |
| 米国基準209E | クラス100相当 | |
光学シミュレーションから量産立上げまでは新川崎R&Dセンターにて対応いたします。
交通アクセスも良く会議スペースもありますので、いつでもお打合せが可能です。お気軽にお問い合わせください。
| ご提供内容 | ナノインプリント試作 光学シミュレーション エッチング受託 |
| 被成型物 | Si、化合物半導体、樹脂フィルム、樹脂基板、 金属、各種成膜基板 |
| サイズ | 数cm□～φ12インチ |
| インプリント法式 | 熱式・UV式 |
| 所在地 | 〒212-0032 神奈川県川崎市幸区新川崎７番７号 NANOBIC |
ナノ・マイクロ産学官共同研究施設
NANOBIC
クリーンルーム全体
クリーンルーム全体
