ナノインプリント、微細加工、ファウンドリ、カスタムモールドのトータルソリューション SCIVAX(サイヴァクス)株式会社
最先端の半導体プロセスを用いて作製したSi基板モールドを低価格でご提供いたします。
モールドサイズは□10mmからφ300mmまでのラインナップがございます。
在庫状況および詳細はお問い合わせください。
| Commodity Code | Material | Width(nm) | Height(nm) | Pitch(nm) | Stamp Dimension(mm) | Effective Area(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| MTLS1/1/2-10x10 | Silicon(Si) | 1000 | 1000 | 2000 | □10 | - |
| MTLS1/1/2-300 | Silicon(Si) | 1000 | 1000 | 2000 | φ300 | □200 |
| MTLS1/1/2-100x100 | Silicon(Si) | 1000 | 2000 | 2000 | □100 | □80 |
| MTLS1/1/2-300 | Silicon(Si) | 1000 | 2000 | 2000 | φ300 | □200 |
| MRLS50/130/100-30x30 | Silicon(Si) | 50 | 130 | 100 | □30 | - |
| MRLS50/130/100-100x100 | Silicon(Si) | 50 | 130 | 100 | □100 | □80 |
| MRLS50/130/100-300 | Silicon(Si) | 50 | 130 | 100 | φ300 | φ280 |
| MRLS70/150/140-10x10 | Silicon(Si) | 70 | 150 | 140 | □10 | - |
| NALS500/250/1000 | Nickel(Ni) | 200 | 250 | 1000 | □30 | □20 |
| MALS870/1500/500 | Nickel(Ni) | 870 | 1500 | 1370 | □30 | □20 |
| MALS520/1000/300 | Nickel(Ni) | 520 | 1000 | 820 | □30 | □20 |
| MALS870/1500/300 | Nickel(Ni) | 870 | 1500 | 1170 | □30 | □20 |
※ 検索窓でフィルタリングが可能です。複数の単語で絞り込む際は、スペース区切りで入力してください。(例:200 Ni)
| Commodity Code | Material | Width(nm) | Depth(nm) | Pitch(nm) | Array | Stamp Dimension(mm) | Effective Area(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MLH230/200/460-10x10 | Silicon(Si) | 230 | 200 | 460 | HexagonalArray | □10 | - |
| MLH230/200/460-15x15 | Silicon(Si) | 230 | 200 | 460 | HexagonalArray | □15 | - |
| MLH230/200/460-20x20 | Silicon(Si) | 230 | 200 | 460 | HexagonalArray | □20 | - |
| MLH230/200/460-30x30 | Silicon(Si) | 230 | 200 | 460 | HexagonalArray | □30 | - |
| MLH230/200/460-50x50 | Silicon(Si) | 230 | 200 | 460 | HexagonalArray | □50 | - |
| MLH230/200/460-4 | Silicon(Si) | 230 | 200 | 460 | HexagonalArray | φ105 | φ85 |
| MLH230/200/460-120 | Silicon(Si) | 230 | 200 | 460 | HexagonalArray | φ120 | φ100 |
| MLH230/200/460-300 | Silicon(Si) | 230 | 200 | 460 | HexagonalArray | φ300 | φ280 |
| MTH-500/500/1000-10×10 | Silicon(Si) | 500 | 500 | 1000 | HexagonalArray | □10 | - |
| MTH-500/500/1000-30×30 | Silicon(Si) | 500 | 500 | 1000 | HexagonalArray | □30 | - |
| MTH-500/500/1000-50×50 | Silicon(Si) | 500 | 500 | 1000 | HexagonalArray | □50 | - |
| MTH-500/500/1000-200 | Silicon(Si) | 500 | 500 | 1000 | HexagonalArray | φ300 | □200 |
※ 検索窓でフィルタリングが可能です。複数の単語で絞り込む際は、スペース区切りで入力してください。(例:230 Si)
| Commodity Code | Material | Width(nm) | Height(nm) | Pitch(nm) | Array | Stamp Dimension(mm) | Effective Area(mm) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MLP230/500/460-10x10 | Silicon(Si) | 230 | 500 | 460 | HexagonalArray | □10 | - |
| MLP230/500/460-15x15 | Silicon(Si) | 230 | 500 | 460 | HexagonalArray | □15 | - |
| MLP230/500/460-20x20 | Silicon(Si) | 230 | 500 | 460 | HexagonalArray | □20 | - |
| MLP230/500/460-25x25 | Silicon(Si) | 230 | 500 | 460 | HexagonalArray | □25 | - |
| MLP230/500/460-30x30 | Silicon(Si) | 230 | 500 | 460 | HexagonalArray | □30 | - |
| MLP230/500/460-35x35 | Silicon(Si) | 230 | 500 | 460 | HexagonalArray | □35 | - |
| MLP230/500/460-40x40 | Silicon(Si) | 230 | 500 | 460 | HexagonalArray | □40 | - |
| MLP230/500/460-60x60 | Silicon(Si) | 230 | 500 | 460 | HexagonalArray | □60 | - |
| MLP230/500/460-120 | Silicon(Si) | 230 | 500 | 460 | HexagonalArray | φ120 | φ100 |
| MLP230/500/460-200x200 | Silicon(Si) | 230 | 500 | 460 | HexagonalArray | □200 | □180 |
| MLP230/200/460-10x10 | Silicon(Si) | 230 | 200 | 460 | HexagonalArray | □10 | - |
| MLP230/200/460-15x15 | Silicon(Si) | 230 | 200 | 460 | HexagonalArray | □15 | - |
| MLP230/200/460-20×20 | Silicon(Si) | 230 | 200 | 460 | HexagonalArray | □20 | - |
| MLP230/200/460-25x25 | Silicon(Si) | 230 | 200 | 460 | HexagonalArray | □25 | - |
| MLP230/200/460-30×30 | Silicon(Si) | 230 | 200 | 460 | HexagonalArray | □30 | - |
| MLP230/200/460-50x50 | Silicon(Si) | 230 | 200 | 460 | HexagonalArray | □50 | - |
| MLP230/200/460-120 | Silicon(Si) | 230 | 200 | 460 | HexagonalArray | φ120 | φ100 |
| MLP230/200/460-300 | Silicon(Si) | 230 | 200 | 460 | HexagonalArray | φ300 | φ280 |
| MRP2200/2000/3000-200 | Silicon(Si) | 2400 | 2000 | 3000 | HexagonalArray | φ200 | φ180 |
| NAP100/100/400 30×30 | Nickel(Ni) | 100 | 100 | 400 | SquareArray | □40 | - |
| NAP250/250/1000-20x20 | Nickel(Ni) | 250 | 250 | 1000 | SquareArray | □30 | - |
| NAP230/240-100 | Nickel(Ni) | 230 | 240 | 460 | HexagonalArray | □100 | □80 |
※ 検索窓でフィルタリングが可能です。複数の単語で絞り込む際は、スペース区切りで入力してください。(例:230 500)
| Parts Number | Dimension of Structure | Stamp Dimension | Materia | Layout |
|---|---|---|---|---|
| TEG-AR-C-200 | Refer to the below Figure for detail (consisted of L/S and Pillar patterns) | φ200mm | Si (Silicon) | Checkerboard pattern (52 shots for patterned, 45 shots for blanket) |
| TEG-AR-C-30x30 | ditto | Roughly 30x30mm | ditto | Checkerboard pattern (2 shots for patterned, 2 shots for blanket) |
| TEG-AR-F-200 | ditto | φ200mm | ditto | Full pattern (97 shots for patterned) |
| TEG-AR-F-30x30 | ditto | Roughly 30x30mm | ditto | Full pattern (4 shots patterned) |
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