ナノインプリントとは?

ナノインプリントとは微細加工技術のひとつです。

微細な構造をもった金型を用いて、それを様々な基板(Si、ガラス、樹脂、各種化合物半導体など)上に塗布した樹脂に押しつけてパターン転写をする、いわゆるスタンピングの技術です。

半導体露光技術で加工した基板を金型として用いることが可能であり、半導体露光装置と同等のナノレベルの微細加工を一括で形成(コピー)することができる安価な量産プロセス技術です。
換言すると、半導体露光装置で少量加工した基板を元に安価に大量にコピーを複製する技術です。

一方で、ミクロンからサブミリメートルレベルの光学レンズの形成には、切削などで作成した金型を用いて加工します。

アプリケーションは様々ですが、特に近年急拡大を続けるモバイル用途のセンサー、自動車産業、バイオチップなど、今後も様々なセンシング用途での採用が期待されます。