Makro Inspect
検査・測定
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ナノインプリントをベースとした微細加工の量産に於いて外観検査は非常に重要な要素技術です。 当社は最先端の高速外観検査装置（INSPECTRA）を始め様々な検査技術をベースに、お客様の試作～量産を確実にサポートします。 |
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検査装置のラインナップ
外観検査装置INSPECTRA
主な用途：ウェハーおよびフィルムの表面の外観を自動で検査
| 主な機能とオプション | |
|---|---|
| 分解能： | 1.4μm、3.5μm |
| 倍率： | x5、x2 |
| 検出可能サイズ： | 2μm |
| 試料サイズ： | 最大300mm□ |
| 処理能力(6”φ) ： | 約50wph |
欠陥検査事例
大面積ナノパターン検査装置の詳細
大面積ナノパターン検査装置
| 装置タイプ： | OPTOSCAN |
|---|---|
| 主な用途： | ●特徴・・・テレｾン光学系を用いてμmレベルの微細パターン不均一性、微細なキズ・ほこり検査、樹脂塗布の不均一性を高速検査 |
| 主な機能： | 検査面積・・・～300mm□ |
大面積微細欠陥検査装置 OptoScan-700
マクロ光学系でモールド及び転写フィルム等の評価が可能です。 ナノインプリントモールドや転写フィルムのパターンを マクロ視野で撮像することにより短時間でパターン欠陥や、 離型剤塗布の不均一性を評価・検査することができます。
- ●モールドの評価・解析
- ●さまざまなパターン形状及びモールド材質に対応(Ni、石英、樹脂モールド等)
- ●離型剤の劣化・剥がれのモニタリング
- ●転写パターンの均一性評価・解析
- ●独自技術による高速・高感度撮像を実現
走査型電子顕微鏡（SEM）
| 主な用途： | nmレベルのパターン形状の検査 |
|---|---|
| 主な機能分解能： | 1.3nm（照射電圧1kV） |
| 照射電圧： | 0.1～30kV |
| 倍率： | ～2,000,000 x |
原子間力顕微鏡（AFM）
| 装置型名： | Dimension Icon |
|---|---|
| 主な用途・特徴： | 大型試料も観察可能な走査型プローブ顕微鏡 |
| 主な機能： | 原子レベルでの解像度でパターンの幅、段差を検査 |
反射率・薄膜厚測定装置
| 装置タイプ： | 近赤外顕微分光計 |
|---|---|
| 主な用途： | 特徴・・・パターンやレジストなどの反射率や膜厚を光学的に測定 |
| 主な機能： | 測定波長・・・380nm～1,050nm 測定再現性（反射率）・・・±0.02%以下（対物レンズ10 x、20 x、使用時、430～1,010nm 測定再現性（膜厚測定）・・・±1% |
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