ナノインプリント、微細加工、ファウンドリ、カスタムモールドのトータルソリューション SCIVAX(サイヴァクス)株式会社
アプリケーション / NGS
ガラス基板
アッシングにより残膜、HMDS除去
疎水化表面処理 (e.g. HMDS)
親水化処理 (e.g.γAPTES)
ナノインプリント樹脂塗布
ナノインプリント樹脂のリフトオフ処理
ナノインプリント
金ナノ粒子の付着により、ホール部分の親水性を確認
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ダウンロードする資料を選択してください: —以下から選択してください—メタレンズの設計と製造ナノインプリント装置RubiQ®3D-TOFセンサー用超広角拡散素子の車載応用3D-TOFセンサー用ドット照明光学素子3D-TOFセンサー用拡散光学素子Platanus®の実測評価3D-TOFセンサー用拡散光学素子ナノインプリントリソグラフィを用いたワイヤグリッド偏光子NGS(Next Generation Sequencer)チップ量産へのナノインプリントリソグラフィの応用