Nanoinprint Molding Example

ナノインプリント成型事例

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LEDの外部量子効率改善、バイオセンサー等、様々な分野で利用されているパターンです。

  • ピラーパターン1

    φ100nm、高さ150nm

  • ピラーパターン2

    φ230nm、高さ500nm(シリコン基板)

  • サファイア基板上に形成したピラーパターン

    左上φ150nm 右上φ100nm
    左下φ200nm 右下φ250nm

  • LED高輝度化事例
  • ハイアスペクトピラーパターン

    ハイアスペクト(A/R=5)ピラーパターン

  • ホールパターン1

    φ230nm ホール

  • ホールパターン2

    φ230nm ホール 拡大

  • 半導体用孤立パターン1

     

  • 半導体用孤立パターン2

     

  • 半導体用孤立パターン3

     

  • 半導体用孤立パターン4

     

  • 半導体用孤立パターン5

     

レンズアレーは、様々な光学デバイスで適用検討が進められています。

  • レンズアレーパターン1

    レンズアレー成形 φ10μm~φ200μm

  • レンズアレーパターン2

    レンズアレー成形 φ10μm~φ200μm

  • レンズアレーパターン3

    レンズアレー成形 φ10μm~φ200μm

レンズ表面にモスアイ構造を形成することにより、ゴースト、フレア等の問題を解決することが可能です。

  • モスアイ構造1

    モスアイ

  • レンズ曲面への加工

    レンズ曲面へのモスアイ加工が可能。
    ピッチ250nm~180nm

  • 未処理レンズ

    レンズに撮影者の写り込みあり。

  • 両面モスアイ加工レンズ

    無反射となりレンズ下に設置の画像が鮮明

  • 未処理フィルム

    未処理フィルム

  • 両面モスアイ加工フィルム

ハニカム・格子パターンは電子材料、バイオ用途等の様々な用途で採用されています。

  • ハニカムパターン1

    W100nmハニカムパターン

  • ハニカムパターン2

    一辺 : 1μm~数十μm

  • スクエアパターン

    一辺 : 1μm~数十μm

  • 細胞培養プレートへの応用事例

    三次元細胞培養プレート
    NanoCulture Plate

  • 培養した細胞

    パターン上での培養でスフェロイドを形成

数十ナノレベルのパターニングが可能になり、液晶パネル用偏光板を始めとする様々な用途で実用化が進められています。

  • L&Sパターン1

    数十nm~数百μm

  • L&Sパターン2

    数十nm~数百μm

  • フォトニッククリスタルへの応用事例
  • 回析光学素子による光の回析の様子
  • 回析格子パターン(同心円)

メタル配線は、タッチパネルを始めとする様々な用途で実用化が進められています。

  • Ag 細線パターン1

    PETフィルム上にAg細線パターンを形成
     (線幅:50nm~1μm)

  • Ag 細線パターン2

    PETフィルム上にAg細線パターンを形成
     (線幅:50nm~1μm)

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