規格品（マスターモールド）

規格品販売 | SCIVAX株式会社

Stock Molds

在庫モールド販売

最先端の半導体プロセスを用いて作製したSi基板モールドを低価格でご提供します。モールドサイズは□10mm からφ300mm までのラインナップ。掲載モールドは在庫限りの販売となります。

Line & Space

例：50 Si

Commodity Code	Material	Width (nm)	Height (nm)	Pitch (nm)	Stamp (mm)	Eff. Area (mm)
MTLS1/1/2-10x10	Si	1000	1000	2000	□10	—
MTLS1/1/2-300	Si	1000	1000	2000	φ300	□200
MTLS1/2/2-100x100	Si	1000	2000	2000	□100	□80
MRLS50/130/100-30x30	Si	50	130	100	□30	—
MRLS50/130/100-100x100	Si	50	130	100	□100	□80
MRLS50/130/100-300	Si	50	130	100	φ300	φ280
MRLS70/150/140-10x10	Si	70	150	140	□10	—
MRLS70/150/140-52x48	Si	70	150	140	52x48	—
MRLS70/150/140-300	Si	70	150	140	φ300	φ280
NALS500/250/1000	Ni	200	250	1000	□30	□20
NALS520/1000/300	Ni	520	1000	820	□30	□20
NALS870/1500/300	Ni	870	1500	1170	□30	□20

Hole Pattern

例：230 Si

Commodity Code	Material	Width (nm)	Depth (nm)	Pitch (nm)	Array	Stamp (mm)	Eff. Area (mm)
MLH230/200/460-10x10	Si	230	200	460	Hex	□10	—
MLH230/200/460-15x15	Si	230	200	460	Hex	□15	—
MLH230/200/460-20x20	Si	230	200	460	Hex	□20	—
MLH230/200/460-30x30	Si	230	200	460	Hex	□30	—
MLH230/200/460-50x50	Si	230	200	460	Hex	□50	—
MLH230/200/460-4	Si	230	200	460	Hex	φ105	φ85
MLH230/200/460-120	Si	230	200	460	Hex	φ120	φ100
MLH230/200/460-300	Si	230	200	460	Hex	φ300	φ280
MTH-500/500/1000-10×10	Si	500	500	1000	Hex	□10	—
MTH-500/500/1000-30×30	Si	500	500	1000	Hex	□30	—
MTH-500/500/1000-50×50	Si	500	500	1000	Hex	□50	—
MTH-500/500/1000-200	Si	500	500	1000	Hex	φ300	□200

Pillar Pattern

例：230 500

Commodity Code	Material	Width (nm)	Height (nm)	Pitch (nm)	Array	Stamp (mm)	Eff. Area (mm)
MLP230/500/460-10x10	Si	230	500	460	Hex	□10	—
MLP230/500/460-15x15	Si	230	500	460	Hex	□15	—
MLP230/500/460-20x20	Si	230	500	460	Hex	□20	—
MLP230/500/460-25x25	Si	230	500	460	Hex	□25	—
MLP230/500/460-30x30	Si	230	500	460	Hex	□30	—
MLP230/500/460-35x35	Si	230	500	460	Hex	□35	—
MLP230/500/460-40x40	Si	230	500	460	Hex	□40	—
MLP230/500/460-60x60	Si	230	500	460	Hex	□60	—
MLP230/500/460-120	Si	230	500	460	Hex	φ120	φ100
MLP230/500/460-200x200	Si	230	500	460	Hex	□200	□180
MLP230/200/460-10x10	Si	230	200	460	Hex	□10	—
MLP230/200/460-15x15	Si	230	200	460	Hex	□15	—
MLP230/200/460-20×20	Si	230	200	460	Hex	□20	—
MLP230/200/460-25x25	Si	230	200	460	Hex	□25	—
MLP230/200/460-30×30	Si	230	200	460	Hex	□30	—
MLP230/200/460-50x50	Si	230	200	460	Hex	□50	—
MLP230/200/460-120	Si	230	200	460	Hex	φ120	φ100
MLP230/200/460-300	Si	230	200	460	Hex	φ300	φ280
MRP2200/2000/3000-200	Si	2400	2000	3000	Hex	φ200	φ180
NAP230/240-100	Ni	230	240	460	Hex	□100	□80

AR-TEG

Parts Number	Material	Stamp Dimension	Layout
TEG-AR-C-200	Si	φ200 mm	チェッカーボード（52 patterned / 45 blanket shots）
TEG-AR-C-30x30	Si	約 30×30 mm	チェッカーボード（2 patterned / 2 blanket shots）
TEG-AR-F-200	Si	φ200 mm	フルパターン（97 patterned shots）
TEG-AR-F-30x30	Si	約 30×30 mm	フルパターン（4 patterned shots）

AR-TEGのパターン構造（L/S および Pillar の混在）の詳細は別途お問い合わせください。掲載モールドは在庫限りとなります。

Checkerboard / Full pattern 図

Patterned layout for single shot 図

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製品一覧

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掲載モールドは在庫限りとなります。在庫状況・価格・カスタム仕様についてお気軽にご相談ください。

Commodity Code	Pattern	Pattern Dimension	Pattern Area	Size
FALS1000/1000/2000-30×30	L&S	幅 1µm、高さ 1µm、ピッチ 2µm	□30 mm	□40 mm
FTLS1000/2000/2000-100×100	L&S	幅 1µm、高さ 2µm、ピッチ 2µm	□100 mm	□120 mm
FCLS/200-4×4	L&S	幅 75/100/150/200nm、高さ 200nm、ピッチ 150/200/300/400nm	□4mm × 4	□40 mm
FLH230/500-120	Hole	φ230nm、深さ 500nm、ピッチ 460nm（正三角形格子）	φ120 mm	□130 mm
FLH230/200-120	Hole	φ230nm、深さ 200nm、ピッチ 460nm（正三角形格子）	φ120 mm	□130 mm
FLP230/200-120	Pillar	φ230nm、高さ 200nm、ピッチ 460nm（正三角形格子）	φ120 mm	□130 mm
FTP500/500-50×50	Pillar	φ500nm、高さ 500nm、ピッチ 1000nm（正三角形格子）	□50 mm	□70 mm
FMES250/300-100×100	Moth-eye	モスアイ、片面成型	□100 mm	□120 mm
FRA50/25-10×10	Lens Array	φ50µm、高さ 25µm（半球）、ピッチ 100µm	□10 mm	□70 mm