常見問題
我們按類別整理了客戶針對奈米壓印受託服務、成型製程、設備及材料所提出的常見問題與解答。同時也支援關鍵字搜尋。
受託與評估服務
我們可以根據您的需求提供各種檢測。包括光學巨觀觀察、共聚焦顯微鏡觀察、斷面 SEM 觀察、AFM 測量、膜厚測量等。
視測量內容而定,可行性會有所不同,詳情請與我們聯繫諮詢。
這取決於圖案形狀和成型樹脂,詳情請與我們聯繫諮詢。
提供旋轉塗佈曲線數據(Spin curve data)可提高膜厚條件評估的效率。此外,若有橢圓偏振儀測得的 n 值與 k 值數據,則可進行更精確的膜厚評估。
初期評估約需 50g 即可執行。若要進行連續成型性評估,則需根據評估數量提供額外的樹脂。
我們會評估塗佈性、膜厚、隨時間的變化、圖案轉印性(SEM 觀察)等項目。
我們使用非接觸式光學膜厚測量儀器。
製程與成型條件
雖然取決於模具的均勻性、圖案形狀和所使用的樹脂,但在適當的條件下,可以控制在約 20nm 左右。
直徑 φ10mm 左右即可處理。但由於會因加壓條件等因素而異,詳情請與我們聯繫諮詢。
取決於所用樹脂的硬化能量,但在典型條件下,每片約在 3 分鐘以內。
雖然取決於圖案形狀和樹脂流動性,但通常可以控制在圖案高度的 5% 至 10% 左右。
間距精度小於 0.05nm,圖案形狀精度為 ±5%。在奈米壓印成型中,幾乎不會與母模產生形狀差異。
我們可以處理平緩的曲面(每 Φ100mm 約 1 至 2mm 的起伏)。但是,我們無法在具有大曲率的樣品(如透鏡本身)上進行成型。
模具與材料
我們也支援不需要脫模處理的「免脫模劑樹脂」。
我們支援 UV 硬化樹脂和熱硬化樹脂。在 PDMS、環氧樹脂、聚醯亞胺等材料方面均有實績。
我們用於光學元件的主要樹脂具有相當於車用等級的可靠性。
我們在含填料和不含填料的樹脂方面均有實績。目前最高的折射率實績約為 1.9。
成型能力與實績
可以。根據圖案設計,我們也有長寬比超過 10 的轉印實績。
視圖案設計而定,我們有倒角形狀的成型實績。關於量產應用,則需要另行驗證。
我們有長寬比達到 7 左右的成型實績。關於量產時的可行性,則需要另行評估。
透過獨有的流體成型技術,我們實現了全面均壓與低壓成型,能夠在抑制對基板損傷的同時,在化合物半導體基板上進行成型。
透過適當選擇基材和樹脂材料,我們可以提供具有回流焊耐性的產品。
目前我們不接受蛾眼結構的試作委託。不過,我們有販售蛾眼結構的成型品樣品。
我們在生物晶片、光學透鏡、光學感測器等方面均有量產實績。
用途廣泛,包括行動通訊、車載、機器人、生物技術、半導體、光電融合等領域。主要應用於需要奈米級加工或高精度微細加工的產品。
設備(RubiQ® / Dyad®)
我們的試作與量產均使用單片式(Sheet-fed)奈米壓印設備。
只要尺寸在 φ100mm 以內,透過製作專用托盤即可處理。
視圖案形狀而定,該設備配備了自動脫模功能。
支援 ±1μm 以下的對準精度。
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還有其他未解決的問題嗎?
歡迎隨時與我們聯繫,進行個別技術諮詢或索取報價。
刊登內容為關於奈米壓印微影技術的代表性問題與解答。視圖案形狀、使用材料及成型條件而定,可行性與規格可能會有所不同,詳情請個別諮詢。