Standard Mold Sales

規格モールド販売

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ナノインプリントの初期検討において、高価なモールドのコストがネックとなり、 プロジェクトが頓挫するケースが増えております。 当社では初期評価を迅速に進めていただく為、お客様の仕様に合わせた低価格カスタムモールドをご提供しております。

また、 多くのお客様からお問合わせをいただいている大型全面パターンモールド(4インチから12インチ)もこれまでどおりご提供いたしております。以下のリストに示す既製品に加え、カスタム品の受託製造にも対応いたします。 詳細に関しては、お気軽にお問い合わせください。

tel:044-599-5051

シリコンモールド

最先端の半導体技術を用いた超微細パターンから、機械加工などによるマイクロレンズアレイなどのμmオーダーのパターンなど幅広くご対応いたします。

高アスペクトピラーモールド(MLP230/500)

高アスペクトピラーモールド(MLP230/500)
φ4インチからφ12インチまで対応

高輝度化用モールド(MLP230/MLH230)

高輝度化用モールド(MLP230/MLH230)
φ4インチからφ12インチまで対応

高輝度化用モールド(MLP230/MLH230)

高輝度化用モールド(MLP230/MLH230)
Cross section

L & S

Commodity Code Dimension of Structure (仕様) Effective Area Stamp Dimension Material Array
MALS250/500/500-30×30 Width:250nm, Height:500nm, Pitch:500nm □30mm □40mm Silicon(Si)
NALS250/500/500-30X30 Width:250nm, Height:500nm, Pitch:500nm □30mm □40mm Nickel(Ni)
MTLS1/1/2-50×50 Width:1μm, Height:1μm, Pitch:2μm □50mm □50mm Silicon(Si)
MTLS1/2/2-50×50 Width:1μm, Height:2μm, Pitch:2μm □50mm □50mm Silicon(Si)
MALS5/1/10-30×30 Width:5μm, Height:1μm, Pitch:10μm □30mm □40mm Silicon(Si)
NALS5/1/10-30×30 Width:5μm, Height:1μm, Pitch:10μm □30mm □40mm Nickel(Ni)
NALS500/250/1000-20×20 Width:500nm, Height:250nm, Pitch:1000nm □20mm □30mm Nickel(Ni)

Hole

Commodity Code Dimension of Structure (仕様) Effective Area Stamp Dimension Material Array
MAH100/100/400-30X30 φ100nm, Depth:100nm, Pitch:400nm □30mm □40mm Silicon(Si) Square
MAH250/500/500-30×30 φ250nm, Depth:500nm, Pitch:500nm □30mm □40mm Silicon(Si) Hexagonal
MLH230/200/460-φ120 φ230nm, Depth:200nm, Pitch:460nm φ120mm φ120mm Silicon(Si) Hexagonal
MAH300/300/600-30X30 φ300nm, Depth:300nm, Pitch:600nm □20mm □25mm Silicon(Si) Hexagonal
MAH300/600/600-30X30 φ300nm, Depth:600nm, Pitch:600nm □20mm □25mm Silicon(Si) Hexagonal
MAH300/600/800-30X30 φ300nm, Depth:600nm, Pitch:800nm □20mm □25mm Silicon(Si) Square
MTH500/500/1000 φ500nm, Depth:500nm, Pitch:1000nm □50mm □50mm Silicon(Si) Hexagonal
NAH2000/500/5000-30X30 φ2000nm, Depth:500nm, Pitch:5000nm □30mm □40mm Nickel(Ni) Square
MTH1.9/2.3/3-50×50 φ1.9μm, Depth2.3μm, Pitch3.0μm □50mm □50mm Silicon(Si) Hexagonal

Pillar

Commodity Code Dimension of Structure (仕様) Effective Area Stamp Dimension Material Array
NAP100/100/400-30X30 φ100nm, Height:100nm, Pitch:400nm □30mm □40mm Nickel(Ni) Square
MLP230/500/460-φ120 φ230nm, Height:500nm, Pitch:460nm φ120mm φ120mm Silicon(Si) Hexagonal
NAP230/100/460-30X30 φ230nm, Height:100nm, Pitch:460nm □30mm □40mm Nickel(Ni) Hexagonal
NAP230/200/340-30X30 φ230nmnm, Height:200nm, Pitch:340nm □30mm □40mm Nickel(Ni) Hexagonal
NAP230/200/460-30X30 φ230nm, Height:200nm, Pitch:460nm □30mm □40mm Nickel(Ni) Square
MLP230/200/460-φ120 φ230nm, Height:200nm, Pitch:460nm φ120mm φ120mm Silicon(Si) Hexagonal
NAP230/200/690-30X30 φ230nmnm, Height:200nm, Pitch:690nm □30mm □40mm Nickel(Ni) Hexagonal
NAP230/200/690-30X30 φ230nmnm, Height:200nm, Pitch:690nm □30mm □40mm Nickel(Ni) Square
NAP250/500/500-30×30 φ250nm, Height:500nm, Pitch:500nm □30mm □40mm Nickel(Ni) Hexagonal
NAP250/250/1000-20×20 φ250nm, Height:250nm, Pitch:1000nm □20mm □30mm Nickel(Ni) Square
NAP270/200/530-30X30 φ270nm, Height:200nm, Pitch:530nm □30mm □40mm Nickel(Ni) Hexagonal
NAP300/300/600-20×20 φ300nm, Height:300nm, Pitch:600nm □20mm □25mm Nickel(Ni) Hexagonal
NAP300/600/600-30X30 φ300nm, Height:600nm, Pitch:600nm □20mm □25mm Nickel(Ni) Hexagonal
NAP300/600/800-30X30 φ300nm, Height:600nm, Pitch:800nm □20mm □25mm Nickel(Ni) Square
NAP310/200/620-30X30 φ310nm, Height:200nm, Pitch:620nm □30mm □40mm Nickel(Ni) Hexagonal
NAP400/200/600-30X30 φ400nm, Height:200nm, Pitch:600nm □30mm □40mm Nickel(Ni) Hexagonal
NAP400/200/600-30X30 φ400nm, Height:200nm, Pitch:600nm □30mm □40mm Nickel(Ni) Square
NAP400/400/600-30X30 φ400nm, Height:400nm, Pitch:600nm □30mm □40mm Nickel(Ni) Square
NAP500/250/1000-20×20 φ500nm, Height:250nm, Pitch:1000nm □20mm □30mm Nickel(Ni) Square
NAP600/400/800-30X30 φ600nm, Height:400nm, Pitch:800nm □30mm □40mm Nickel(Ni) Hexagonal
NAP600/400/800-30X30 φ600nm, Height:400nm, Pitch:800nm □30mm □40mm Nickel(Ni) Square
NAP2000/500/5000-30X30 φ2000nm, Height:500nm, Pitch:5000nm □30mm □40mm Nickel(Ni) Square

Plural

Commodity Code Dimension of Structure (仕様) Effective Area Stamp Dimension Material Array
NA250/250/500-20×20
(PILLAR、LS)
φ250nm, Height:250nm, Pitch:500nm
Width:250 nm, Height:250nm, Pitch:500nm
□20mm □30mm Nickel(Ni) Square

お客様のご要望に応じ、評価用から量産用まで様々なカスタムモールドをご提供いたします。当社では、パターンサイズに応じ、7種の異なる加工プロセスを用いてモールドを作製しております。

複合カスタムモールド

一つのモールドにお客様のご要望のパターンを2種類以上形成することが可能です。

複合カスタムモールド モールド材料: ニッケル
パターン: ピラー〈右写真〉、L&S〈左写真〉
L&S:幅250nm、高さ250nm、ピッチ500nm
ピラー:φ250nm、高さ250nm、ピッチ500nm

低価格インプリント用モールド

お客様の仕様に合わせて作成します(材質:Si、Ni)

低価格インプリント用モールド パターン: L&S、Pillar、Hole 他
パターンサイズ: 150nm~
パターン領域: □10mm~□30mm
材質: Si、Ni

ライン&スペース

ライン&スペース

ホールパターンとピラーパターン

ホールパターンとピラーパターン

大面積カスタムモールド

Ni電鋳モールド複製受託をいたします。

Ni電鋳モールド (200nmピラー、高さ500nm) Ni電鋳モールド
(200nmピラー、高さ500nm)
φ8インチNi電鋳モールド (φ200nmピラーからの複製モールド) φ8インチNi電鋳モールド
(φ200nmピラーからの複製モールド)

シリコンモールドからNi電鋳レプリカモールドを作製することができます。

シリコンモールド(200nmピラー、高さ:500nm)

シリコンモールド(200nmピラー、高さ:500nm)

シリコンモールド(ハニカム 一辺1μm、壁厚240nm)

シリコンモールド(ハニカム 一辺1μm、壁厚240nm)

まずはお気軽にご相談下さい