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エポキシ樹脂/レジスト
厚膜レジストとしてMEMS分野などで広くもちいられているSU-8(化薬マイクロケム株式会社)への熱式インプリント成型が可能です。
SU-8は永久膜レジストとして知られ、耐薬品性、耐熱性に優れ、各種デバイスへの応用が期待されております。
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