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ナノインプリントトップ>ナノパターン検査装置
OptoScanシリーズ 〜大面積ナノパターン検査装置〜
 



  当社ナノパターン検査装置に多くのお問い合わせを頂き誠に有難うございます。
   本年、10月下旬よりOptoScan-700を用いたデモンストレーションを実施させて頂きます。
   当社サンプルを用いた標準デモに加え、お客様毎の個別評価試験もお受けいたします。
   概要は以下をご参照ください。

                   
   ●実施時期:2011年10月下旬〜 

   ●実施内容:@標準デモ:当社サンプルを用いた標準デモンストレーション 半日程度 (無償)

           A個別評価試験:お客様持込サンプルを用いた評価試験  1日〜2日 (有償)
                          ※Aに関しては、事前のお打ち合せ及び事前検討が必要になります。
                             詳細は以下までお問い合わせください。


   ●実施場所:SCIVAX株式会社 
              かながわサイエンスパーク(KSP)
      

                                                 詳細は以下までお問い合わせください。


担当 :田中、奥田 (TEL :044-820-0551)

 

マクロ光学系でモールド及び転写フィルム等の評価が可能です。
ナノインプリントモールドや転写フィルムのパターンをマクロ視野で撮像することで短時間でパターン欠陥や、離型剤塗布の不均一性を評価・検査することができます。

 ●モールドの評価・解析

 ●さまざまなパターン形状及びモールド材質に対応
   (Ni、石英、樹脂モールド等)

 ●離型剤の劣化・剥がれのモニタリング

 ●転写パターンの均一性評価・解析

 ●独自技術による高速・高感度撮像を実現


 ■ 搭載可能ワークサイズ

    OptoScan-700  300mm×300mm 0.1〜10mm厚
                             ※ 0.1mm以下の厚みはご相談ください

 ■ 撮像センサー

    2048画素CCDラインセンサカメラ (B/W)






図1 OptoScan-300撮像(無欠陥パターン)
全面に均一なコントラストとなる



図2 無欠陥パターンSEM像



図3 OptoScan-300撮像                    
       (中心部に未充填部が存在)          
       欠陥部のコントラストが外周に比べ濃い
   



    図4 欠陥部SEM像
           未充填で十分な高さがでていない

詳細に関しては、お気軽にお問い合わせください。

担当:奥田・田中(TEL:044-820-0551)


 

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